夏加飞
【姓名】 夏加飞
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 AFM,微加工,微加速度传感器,串口通讯,微加工工艺,MEMS,进给量,原子力显微镜,加工深度,金刚石针尖,工作台进给,微小结构,加工表面,RS_232,精密工程,机械刻蚀,工作台,微动工作台,加工工...
【工作单位】 哈尔滨工业大学
【曾工作单位】 哈尔滨工业大学;
【所在地域】 黑龙江哈尔滨
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[1]孙涛,闫永达,夏加飞,梁迎春,程凯,董申.基于原子力显微镜(AFM)的微小结构加工工艺研究[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
[2]夏加飞,孙涛,闫永达,梁迎春,程凯,董申.基于原子力显微镜(AFM)的微加工系统[J]光学精密工程.2003,(02)
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