汤有华
【姓名】 汤有华
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电子束制版,工艺要点,切型,薄型,铬版,氧化铁,电子束曝光,涂胶,彩色薄膜,掩模版,图形畸变,频率,振子,正胶,畸变,石英音叉,腐蚀工艺,F口,氧化铁薄膜,平滑度,晶片,化学腐蚀方法,淀积温度,腐蚀液...
【工作单位】 哈尔滨工业大学
【曾工作单位】 哈尔滨工业大学;
【所在地域】
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[1]汤有华,吴文芳.氧化铁彩色掩模在电子束制版中的应用[J]半导体技术.1979,(04)
[2]杨乐民,蔺敬贤,汤有华,李可成,牟树梓.薄型水晶振子腐蚀工艺的研究[J]哈尔滨工业大学学报.1981,(02)
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