宋明浩
【姓名】 宋明浩
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;化学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 多晶硅薄膜,压阻特性,应变系数,磁控溅射法,低压化学气相淀积,纳米薄膜,隧道效应,掺杂浓度,压阻效应,测试结果,溅射薄膜,电阻率,单晶硅,晶化工艺,扫描电镜,修正模型,晶粒度,实验结果,薄膜制备方法,...
【工作单位】 哈尔滨工业大学
【曾工作单位】 哈尔滨工业大学;
【所在地域】 哈尔滨
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[1]揣荣岩;刘晓为;霍明学;宋明浩;王喜莲;潘慧艳;.掺杂浓度对多晶硅纳米薄膜应变系数的影响[J]半导体学报.2006,(07)
[2]刘晓为;宋明浩;王喜莲;潘慧艳;揣容岩;.多晶硅薄膜制备方法与压阻特性的研究[J]传感器与微系统.2007,(04)
[3]霍明学,刘晓为,张丹,王喜莲,宋明浩.多晶硅薄膜的高温压阻效应[J]半导体学报.2005,(11)
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