李士章
【姓名】 李士章
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电子束曝光机,扫描场,曝光室,技术改进措施,扫描图形,地址分辨率,工作台,气锁,子场,激光定位,设计思想,工作台系统,精密工作台,误差,偏转线圈,加工精度,片夹,偏转散焦,射束,电子束,误差反馈系统,...
【工作单位】 哈尔滨工业大学
【曾工作单位】 哈尔滨工业大学;
【所在地域】
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[1]李士章，冯友彬，余越.电子束曝光机的加工精度[J]仪器仪表学报.1996,(S1)
[2]李士章,冯友彬,余越.电子束曝光机的误差与数据处理[J]微细加工技术.1997,(03)
[3]李士章;.仪表中杠杆式放大机构的组合设计法[J]仪器制造.1980,(03)
[4]李士章.EBMF6.5型电子束曝光机的设计思想与技术改进措施[J]微细加工技术.1985,(03)
[5]李士章.EBMF6.5型机激光定位工作台系统的设计思想、结构与精度分析[J]微细加工技术.1986,(02)
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