王富生
【姓名】 王富生
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;自动化技术;
【研究方向】 超精密三维激光测量技术、共焦显微技术和高精度电容位移传感器等的研究
【发表文献关键词】 表面微观轮廓,数字合成技术,光学测量方法,差动,光聚焦探测,位移传感器,电容测量,轮廓仪,共焦,共焦显微镜,光聚焦,高分辨率,系统优化,信噪比,探测系统,纳米,光学测量,电容式,共光路,扫描近场光学显...
【工作单位】 哈尔滨工业大学
【曾工作单位】 哈尔滨工业大学;
【所在地域】 哈尔滨
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/3 1 1 2 96 1314
中国期刊全文数据库    共找到3篇
[1]王富生,谭久彬.表面微观轮廓的高分辨率光学测量方法[J]光学精密工程.2000,(04)
[2]谭久彬,王富生.基于数字合成技术的电容式位移传感器研究[J]仪器仪表学报.2001,(02)
[3]王富生,谭久彬.差动共焦式纳米级光聚焦探测系统的研究[J]光学技术.2001,(03)
更多