卢钢
【姓名】 卢钢
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 湿度传感器,新型结构,上电极,感湿特性,传感器,蒸铝,相对湿度,亚胺,聚酚亚胺,介质系统,铝环,光刻工艺,亚胺酸,哈尔滨工业大学,电容值,响应时间,电容式湿度传感器,电容式,亚胺化,脱湿,
【工作单位】 哈尔滨工业大学
【曾工作单位】 哈尔滨工业大学;
【所在地域】
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[1]高元恺,韩爱珍,卢钢,吴杰.一种新型结构的湿度传感器[J]半导体技术.1989,(02)
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