尹盛
【姓名】 尹盛
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 反应粒子输运,薄膜生长,靶面,反应溅射,生长速率,粒子输运,溅射,靶中毒,粒子,反应室,反应粒子,溅射速率,中性粒子,剥离速率,化合物,输运,产额,隔板,生成速率,速率方程,
【工作单位】 广西工学院
【曾工作单位】 广西工学院;
【所在地域】 广西柳州
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[1]陶甫廷,王敬义,何笑明,王宇,尹盛.反应溅射中靶面附近的粒子输运研究[J]稀有金属材料与工程.2003,(02)
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