周一敏
【姓名】 周一敏
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 汽相沉积,激光化学,氮化钛,激光功率,沉积速率,钨膜,实验研究,复旦大学,扫描速度,LCVD,反应室,氮化,毫瓦,衬底材料,反应气体,物理系,光功率监测,TIN薄膜,实时监测,原型电路,
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]周一敏;孙迭篪;李富铭;杜元成;王海;.反射率探测法对激光化学汽相沉积的实时监测[J]应用激光.1989,(06)
[2]周一敏,孙迭篪,李富铭,杜元成,王海.钨在硅和氮化钛上的激光化学汽相沉积实验研究[J]半导体学报.1990,(11)
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