张晋敏
【姓名】 张晋敏
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光学常数,多层膜结构,椭偏光谱,磁控溅射,溅射气压,压强,复旦大学,SiGe/Si,峰位,磁控,氩气压,超晶格,高能区,复介电常数,消光系数,异质,虚部,溅射制备,Ge/Si,实部,
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 贵州贵阳
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[1]张晋敏,郜小勇,杨宇,陈良尧.溅射气压对Si/Ge多层膜结构光学常数的影响[J]红外与毫米波学报.2003,(01)
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