曾有义
【姓名】 曾有义
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 高温超导薄膜,阻挡层,氮化物,缓冲层,平面磁控溅射,硅衬底,特性研究,接触电阻,肖特基势垒高度,导电薄膜,金属化系统,转变温度,溅射系统,激光烧蚀,电阻率,微观结构,互扩散,微结构,三元化合物,大直径...
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]曾有义,章壮健,罗维昂,蔡一民,沈孝良,孙云龙,秦关鸿,杨新菊,罗维昂.In_2O_3/Si衬底上的YBa_2Cu_3O_(7-x)高温超导薄膜的特性研究[J]真空科学与技术.1993,(02)
[2]薛云龙,罗维昂,章壮健,沈孝良,曾有义,孙云龙,秦关鸿.过渡金属氮化物防扩散阻挡薄膜研究[J]真空科学与技术.1993,(03)
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