王鹏飞
【姓名】 王鹏飞
【职称】 教授;
【研究领域】 无线电电子学;计算机硬件技术;材料科学;
【研究方向】 超大规模集成电路用互连介质材料的研究
【发表文献关键词】 C-V特性,化学汽相淀积,介电常数,低介电常数绝缘介质,动态功耗,互连延迟,低介,电常数,Al,Teflon AF,X-射线光电子光谱,深亚微米,低介电常数材料,金刚石薄膜,化学气相淀积,超大规模集成...
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海,邮编
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