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王毕南
【姓名】
王毕南
【职称】
【研究领域】
自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】
十字梁,力传感器,敏感元件,传感器,硅材料,过载保护,灵敏度,传感器样品,一致性,最高灵敏度,微加工技术,小量程,结构部分,应力计算,高灵敏度,结构参数,结构分析,理论分析,各向异性腐蚀,力敏电阻,
【工作单位】
复旦大学
【曾工作单位】
复旦大学;
【所在地域】
上海
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共找到1篇
[1]王言,王毕南,晋琦,鲍敏杭.
硅十字梁单块力传感器
[J]半导体学报.1990,(05)
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1
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1
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