郑航
【姓名】 郑航
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 MOS,氧化锆薄膜,氧化锆,ZrO2薄膜,漏电流,半导体,微电,C-V曲线,正方晶系,磁控,电学性质,绝缘层,溅射,绝缘层电容,半导,Zr-2,薄膜样品,界面态密度,介电常数,电容比,
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]郑航.应用于微电子的硅基氧化锆薄膜性质研究[J]半导体技术.2002,(08)
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