孙迭
【姓名】 孙迭
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 快速退火,电子束退火,低能电子束,VLSI,电路,复旦大学,浅结,硼离子注入,MOS器件,电子束,大面积,肖特基电路,B组,冷阴极,肖特基二极管,三极管,成品率,高温退火,再分布,电子流密度,
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】
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[1]杜元成,鲁钟,吴苏华,郁曾期,李幸福,孙迭■,李富铭.大面积低能电子束快速退火在4ETPM电路制作中的应用[J]应用科学学报.1987,(04)
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