施力群
【姓名】 施力群
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 磁控溅射法,Ti膜,氦,热解吸谱,合金膜,钛膜,流量比,均匀分布,实验结果,引入,3He,释放,纯钛,深度分布,He原子,含量,温度范围,溅射沉积,浓度,球磨,
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]郑华,刘实,于洪波,朱跃进,王隆保,施力群,刘超卓.磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究[J]原子能科学技术.2005,(S1)
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[1]郑华;刘实;于洪波;王隆保;施力群;刘超卓;.磁控溅射方法制备含氦钛膜及氦的热解吸研究[A].第八届全国核靶技术学术交流会论文摘要集.2004-09-01
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