杨兴
【姓名】 杨兴
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 失效,PEM,铜布线,镶嵌技术,微分析,介质材料,化学机械抛光,pn结,铜互连,介电常数,布线,深亚微米,IC工艺,缺陷检测,镶嵌工艺,阻挡层,半导体器件,热载流子,接线柱,可靠性,低介电常数材料,双...
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]唐凌,瞿欣,方培源,杨兴,王家楫.PEM用于半导体器件失效缺陷检测和分析[J]半导体技术.2004,(07)
[2]张兆强,郑国祥,黄榕旭,杨兴,邵丙铣,宗祥福.铜互连布线及其镶嵌技术在深亚微米IC工艺中的应用[J]固体电子学研究与进展.2001,(04)
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