刘剑霜
【姓名】 刘剑霜
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;计算机硬件技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 半导体制造,电子显微分析,扫描电子显微镜,电子束,透射电子显微镜,氧沉积,扫描电镜,二次电子,衬度,栅氧化层,高分辨率,体分析,显微分析,透射电镜,半导体,样品,纳米,扫描电子,背散射电子,位错,集成...
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]刘剑霜,谢锋,吴晓京,陈一,胡刚.扫描电子显微镜[J]上海计量测试.2003,(06)
[2]谢锋;刘剑霜;陈一;胡刚;.半导体制造中的电子显微分析[J]集成电路应用.2003,(02)
[3]胡刚;陈一;谢锋;刘剑霜;朱烨;.SEM与TEM半导体分析的比较[J]集成电路应用.2003,(03)
[4]刘剑霜,谢锋,陈一,胡刚.用电子显微镜剖析存储器器件[J]半导体技术.2004,(05)
[5]谢锋,刘剑霜,陈一,胡刚.硅中缺陷的透射电镜观察[J]半导体技术.2004,(03)
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