吴卫军
【姓名】 吴卫军
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 快速退火,固相反应,CoSi,固相,薄层电阻,外延,实验研,合金层,退火时间,互扩散,异质外延,测量显示,长厚,预处理,衍射峰,高温阶段,探针仪,固相外延,外延结构,非晶,
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】
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[1]吴卫军，李炳宗，邵凯，房华.Co／Ti／Si三元薄膜固相反应外延CoSi_2过程实验研究[J]应用科学学报.1996,(04)
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