吴东平
【姓名】 吴东平
【职称】 研究员;教授;
【研究领域】 无线电电子学;材料科学;物理学;
【研究方向】 包括纳米尺度MOSFET及高压大功率S半导体器件及工艺集成技术、能量收集器件技术、硅基光子集成技术
【发表文献关键词】 多孔硅,离子注入,微空腔,制备技术,SOIMOSFET,扩展电阻,合和,SOI结构,三维器件,硅片直接键合,SOI材料,智能剥离,高温退火,BESOI,吸除,晶片键合技术,低温键合,SIMOX,氧化层...
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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