孙剑
【姓名】 孙剑
【职称】
【研究领域】 材料科学;无线电电子学;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 鞘层,等离子体氮化,电子回旋共振,薄膜,ECR等离子体,氮化硅,氮化铝,硅,低温沉积,蒙特卡罗模拟,离子行为,硅表面,脉冲激光沉积,等离子体,离子能量分布,衬底偏压,中性区,氮化,电势,氮等离子体,磁...
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]丁本远;吴锂;姚楚君;李乐群;刘煜;吴嘉达;许宁;孙剑;.硅纳米线的制备及其生长条件探究[J]功能材料.2023,(12)
[2]巫志城;关雷雷;李惠;吴嘉达;孙剑;许宁;.Growth of Single-Crystalline Silicon Nanocone Arrays by Plasma Sputtering Reaction Deposition[J]Chinese Physics Letters.2017,(02)
[3]束奇伟;钟晓霞;吴嘉达;孙剑;Kostya(Ken) OSTRIKOV;.Investigation on Bioactivity of Titanium DioXide Thin Films Fabricated by Electron Cyclotron Resonance Plasma Aided Pulsed Laser Deposition[J]Plasma Science and Technology.2009,(04)
[4]高昆;卢意飞;施立群;孙剑;许宁;吴嘉达;.等离子体辅助脉冲激光沉积和原位掺杂方法制备稀土掺杂GaN薄膜[J]真空科学与技术学报.2009,(02)
[5]俞丹;卢意飞;戴祝萍;孙剑;吴嘉达;.离子束辅助脉冲激光沉积硼碳氮薄膜[J]功能材料与器件学报.2007,(02)
[6]孙剑,吴嘉达,应质峰,施维,凌浩,周筑颖,丁训民,王康林,李富铭.氮化铝薄膜的低温沉积[J]半导体学报.2000,(09)
[7]孙剑,吴嘉达,钟晓霞,来冰,丁训民,李富铭.ECR等离子体对单晶硅的低温大面积表面处理[J]半导体学报.2000,(10)
[8]孙剑,吴嘉达,钟晓霞,来冰,丁训民,李富铭.ECR等离子体对硅表面的低温大面积氮化[J]真空科学与技术.2000,(02)
[9]凌浩,施维,孙剑,应质峰,吴嘉达,李富铭,王康林,丁训民.用脉冲激光沉积方法制备氮化铝薄膜[J]中国激光.2001,(03)
[10]凌浩,吴嘉达,应质峰,孙剑,许宁,李富铭.激光诱导等离子体中铜原子和铜离子的时空行为[J]原子核物理评论.2002,(02)
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中国博士学位论文全文数据库    共找到1篇
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[1]梁佩佩;黄飞灵;杨琴;杨旭;孙剑;许宁;吴嘉达;.ECR-PLA铝/氮等离子体特性的光谱研究[A].上海市激光学会2013年学术年会论文集.2013-11-26
[2]李惠;陈立;赵雨;刘徐君;关雷雷;孙剑;吴嘉达;许宁;.实验条件对PLD方法制备的CdS纳米针形貌、结构及生长模式的影响[A].上海市激光学会2015年学术年会论文集.2015-12-16
[3]李艳丽;梁佩佩;李惠;孙剑;许宁;吴嘉达;.提高纳晶硅镶嵌二氧化硅薄膜发光效率的研究[A].上海市激光学会2013年学术年会论文集.2013-11-26
[4]杨琴;杨旭;孙剑;许宁;吴嘉达;.ZnO/ZnSe纳米复合结构的制备及光学性质[A].上海市激光学会2013年学术年会论文集.2013-11-26
[5]蔡华;游庆虎;杨旭;孙剑;许宁;吴嘉达;.Al_xGa_(1-x)N三元半导体薄膜的制备和发光特性[A].上海市激光学会2013年学术年会论文集.2013-11-26
[6]唐文涛;孙剑;许宁;应质峰;吴嘉达;.HfO_2薄膜的制备及其性质研究[A].上海市激光学会2009年学术年会论文集.2009-10-23
[7]唐文涛;应质峰;孙剑;许宁;吴嘉达;.等离子体辅助脉冲激光沉积ZrO_2薄膜[A].上海市激光学会2009年学术年会论文集.2009-10-23
[8]高昆;李倩;干洁;孙剑;许宁;吴嘉达;.ZnO纳米晶薄膜的光学和发光特性[A].上海市激光学会2009年学术年会论文集.2009-10-23
[9]吴嘉达;钟晓霞;孙剑;伍长征;李富铭;.纳米硅颗粒膜的制备及其光致发光特性的研究[A].第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集.1998-10-13
[10]吴嘉达;钟晓霞;孙剑;伍长征;李富铭;.电子回旋共振等离子体辅助的反应脉冲激光沉积方法制备氮化物薄膜[A].第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集.1998-10-13
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承担国家科研项目    共找到1个
[1]孙剑;.N-Ga共掺p型ZnO薄膜的制备及其性质研究[A].复旦大学;.项目经费 20万元.2004-03-31.资助文献数 0
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