高明辉
【姓名】 高明辉
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 鸟嘴,VHSIC,氧化物隔离,氮化硅,RIE刻蚀,超高速电路,各项同性,常规工艺,化学腐蚀,侧壁,屋檐,掩蔽层,AMI方法,电路性能,双极型晶体管,工艺基础,工艺应用,有源区,磷富集,槽底,
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】
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[1]高明辉,汤庭鳌,吴苏华.用于VHSIC的低缺陷无“鸟嘴”等平面氧化物隔离技术[J]半导体技术.1988,(03)
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