谭淞生
【姓名】 谭淞生
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 各向异性,反应离子刻蚀,向异性,均匀性,等离子体刻蚀,实验研,等离子体,腐蚀剂,RIE刻蚀,工作气压,径向位置,蚀深,冶金研究,垂直流,复旦大学,关系曲线,射频功率,添加剂,NF_3,CF_4,
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]苏毅,谭淞生,孙承龙,陈良尧,王渭源,钱佑华.等离子体和反应离子刻蚀硅的各向异性及均匀性实验研究[J]传感技术学报.1994,(02)
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