孙臻
【姓名】 孙臻
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 Ti/Si,固相反应,分凝效应,CoSi,自对准,原子,复合薄膜,薄层电阻,背散射,Ti膜,Si表面,选择腐蚀,分凝,两步退火,样品表,薄膜表面,Si区,扩散阻挡层,快速退火,深度分布,三元硅化物,俄...
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]刘平,周祖尧,林成鲁,邹世昌,李炳宗,孙臻.As在Co/Ti/Si三元固相反应中的分凝效应[J]物理学报.1993,(11)
[2]刘平,李炳宗,顾志光,孙臻,黄维宁,姜国宝,卢煊.Co/Ti/Si三元固相反应形成自对准TiN/CoSi_2复合薄膜[J]半导体学报.1993,(07)
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