沈金萱
【姓名】 沈金萱
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 激光退火,离子注入硅,固相外延,热退火,性质研究,未退火,辐照区,CO_2,扫描速度,传导散热,少子扩散长度,再结晶,离子注,退火过程,预热温度,激光辐照,吸收系数,准静态模型,隐格式,激光功率密度,...
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】
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[1]邬建根,沈金萱,屈逢源,杨恒青,赵有源,高如芳.CW CO_2激光退火后离子注入硅片的性质研究[J]电子学报.1983,(02)
[2]沈金萱,屈逢源.离子注入硅片的CWCO_2激光退火固相外延模型[J]半导体学报.1983,(01)
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