王柏青
【姓名】 王柏青
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 碳氮化,淀积工艺,硅薄膜,钝化膜,碳氮化硅,介质薄膜,PECVD,淀积速率,工艺性能,淀积温度,淀积压力,电阻率,折射率,绝缘性能,氢含量,衬度,射频功率,氨气流量,淀积过程,膜科学与技术,
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】
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[1]王柏青，张克云，包宗明，王焕杰，王季陶.PECVD制备新型介质薄膜碳氮化硅工艺性能研究[J]功能材料.1994,(05)
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