钱向阳
【姓名】 钱向阳
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 Si薄膜,GaAs衬底,界面特性,溅射,SIMS,GaAs,肖特基二极管,原子,高温快速退火,小泡,深度分析,退火温度,肖特基接触,高温退火,组份比,深度分布分析,耐熔金属,Si膜,理想因子,原子扩散,
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]邵丙铣,郑庆平,戎瑞芬,陈祥君,钱向阳.多层W-Si薄膜及其与GaAs衬底间的界面特性[J]半导体技术.1992,(01)
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