庞恩文
【姓名】 庞恩文
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 是微电子封装
【发表文献关键词】 钽膜,钽,芯片断裂,钽薄膜,铜布线,扩散阻挡层,淀积速率,vfBGA,铜布线工艺,ANSYS,阻挡层,有限元分析,SIMS,溅射,互扩散,硅衬底,芯片,深度分析,复旦大学,材料科学,腔体,样品制作,测...
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]庞恩文,林晶,郁芳,宗祥福.vfBGA内部芯片断裂问题[J]半导体学报.2002,(09)
[2]庞恩文,林晶,汪荣昌,戎瑞芬,宗祥福.铜布线工艺中阻挡层钽膜的研究[J]固体电子学研究与进展.2002,(01)
[3]庞恩文,林晶,吉小松,汪荣昌,戎瑞芬,宗祥福.钽薄膜淀积速率与阻挡效果的研究[J]固体电子学研究与进展.2002,(02)
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