唐凌
【姓名】 唐凌
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;行政法及地方法制;农业经济;
【研究方向】 微电子材料和器件的微分析技术研究
【发表文献关键词】 SPM,ULSI,微分析,聚焦离子束,PEM,失效,化学气相淀积,金属有机,微悬臂,工艺检测,深亚微米,铂薄膜,扫描探针,pn结,样品间,缺陷检测,样品表,半导体器件,离子束流,热载流子,淀积速率,探...
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]唐凌,瞿欣,方培源,杨兴,王家楫.PEM用于半导体器件失效缺陷检测和分析[J]半导体技术.2004,(07)
[2]江素华,唐凌,王家楫.聚焦离子束诱发金属有机化学气相淀积碳-铂薄膜[J]半导体学报.2004,(11)
[3]王家楫,唐凌.深亚微米ULSI工艺检测技术——扫描探针显微镜[J]微纳电子技术.2002,(02)
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