唐雷钧
【姓名】 唐雷钧
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 制样技术,聚焦离子束,刻蚀,TEM分析,溅射,电子透明,透射电镜,集成电路,分析目标,离子束,聚焦离子束刻蚀,芯片,溅射模式,刻蚀速率,复旦大学,光学显微镜,材料科学,量级,线度,命中率,低角度,控制...
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]唐雷钧,谢进,陈一,郑国祥,宗祥福.聚焦离子束(FIB)的透射电镜制样[J]电子显微学报.2000,(04)
[2]谢进,江素华,王家楫,唐雷钧,宗祥福.聚焦离子束刻蚀性能的研究[J]半导体学报.2001,(02)
[3]唐雷钧，潘梦瑜，陈一，潘忠伟，宗祥福.集成电路TEM分析的制样技术[J]电子显微学报.1995,(06)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]唐雷钧;谢进;陈一;郑国祥;宗祥福;.聚焦离子束(FIB)的透射电镜制样[A].第十一次全国电子显微学会议论文集.2000-06-30
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