汤晓东
【姓名】 汤晓东
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 梯度薄膜,氮氧化硅,PECVD,PECVD方法,折射率,滤波器,连续变化,反应气体,淀积速率,剖面折射率,光学涂层,涂层,光学薄膜,通带滤波器,离子注入,共蒸发,深成,抑制带,共溅射,质量流量计,
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】
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[1]於伟峰,张伟,汤晓东,包宗明.PECVD方法用于梯度薄膜材料的研究[J]功能材料.1996,(06)
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