李爱珍
【姓名】 李爱珍
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 掩模版,接触电阻率,钨膜,硅膜,无定形硅,热壁,光刻胶,化学气相淀积,多孔硅,SOI技术,选择性,阴版,薄层电阻,电子束蒸发,快速退火,互连线,针孔,智能剥离,多孔氧化硅,FIPOS,压力传感,VLS...
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]江德臣,唐佳,刘宝红,沈先荣,张松,杨芃原,李爱珍,黄宜平,孔继烈.基于有序生物膜的电容型层胶粘蛋白新型免疫传感器[J]高等学校化学学报.2003,(01)
[2]王瑾,黄靖云,黄宜平,李爱珍,包宗明,竺士炀,叶志镇.双层多孔硅结构上的UHV/CVD硅外延[J]半导体学报.2000,(10)
[3]黄宜平,竺士炀,李爱珍,鲍敏杭,沈绍群,王瑾,吴东平.智能剥离SOI高温压力传感器[J]半导体学报.2001,(07)
[4]竺士炀,李爱珍,黄宜平.用于制备SOI材料的基于硅片键合和双层多孔硅剥离的薄外延硅膜转移技术(英文)[J]半导体学报.2001,(12)
[5]竺士炀,黄宜平,李爱珍,吴东平,王瑾,茹国平,包宗明.O76mm智能剥离SOI材料的制备及其表面缺陷的分析[J]半导体学报.1999,(12)
[6]黄宜平,李爱珍,汤庭熬,鲍敏杭.多孔硅及其在SOI技术中的应用研究[J]微电子学与计算机.1995,(02)
[7]黄宜平,李爱珍,邹斯洵,李金华,竺士炀.高选择和自终止多孔氧化硅SOI技术研究[J]半导体学报.1997,(12)
[8]汪德馨,李爱珍,王家楫.无定形硅透明掩模版的制备及其性能[J]半导体技术.1985,(02)
[9]沈兆友,李爱珍.钨的热壁低压选择性化学气相淀积[J]半导体技术.1987,(01)
[10]沈兆友,李爱珍,姜国宝,陈健.用化学汽相淀积钨和石墨快速退火降低接触电阻率[J]半导体技术.1988,(06)
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