姜蕾
【姓名】 姜蕾
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 溅射,Ge/Si多层膜,背散射和沟道,剥层,背散射,离子束分析,原位分析,二次离子质谱,低能离子,深度分辨率,高能离子,组合方法,离子枪,二次离子,多层膜,质谱分析,靶室,掠角,沟道,合金层,溅射速率...
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]陈腾瀚;姜蕾;.特朗普政府“美国优先能源计划”探析[J]国际研究参考.2017,(08)
[2]刘波,姜蕾,周筑颖,贺勉鸿,赵国庆,宗祥福.用低能离子溅射剥层和高能离子背散射组合方法进行薄膜原位分析[J]物理学报.2000,(01)
[3]赵国庆,姜蕾,宋玲根,杨宇,孙耀德,周筑颖.多层膜样品的背散射/沟道、溅射剥层/背散射和二次离子质谱分析[J]复旦学报(自然科学版).2002,(02)
[4]姜蕾;何国伟;宗祥福;.N离子注入方法对Ta扩散阻挡层性能的改进[J]中国集成电路.2002,(11)
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