卢红亮
【姓名】 卢红亮
【职称】 教授;
【研究领域】 无线电电子学;无机化工;化学;
【研究方向】 应用于下一代集成电路工艺的新型半导体材料与器件
【发表文献关键词】 原子层,金属氧化物薄膜,高k材料,Al2O3薄膜,原子层淀积(ALD),X射线光电子能谱(XPS),积制,原子层淀积,密度泛函理论,高介电常数栅介质,氧化锆,半反应,反应机理,原子力显微镜,稳定性研究...
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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