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梁风
【姓名】
梁风
【职称】
【研究领域】
工业通用技术及设备;物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
类金刚石薄膜,离子轰击,流密度,离子能,能流密度,碳原子,工作气压,沉积速率,工作气体,甲烷,无定形,类金刚石,类金刚石膜,离子流密度,金刚石薄膜,金刚石,成膜粒,衬底电流,苯,成膜过程,灯丝,负高压...
【工作单位】
复旦大学
【曾工作单位】
复旦大学;
【所在地域】
上海
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共找到2篇
[1]严学俭,梁风.
离子能流密度对类金刚石薄膜成膜的影响
[J]真空科学与技术.2000,(02)
[2]梁风,严学俭.
类金刚石薄膜的性质、应用及制备
[J]物理学报.1999,(06)
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