傅丽珍
【姓名】 傅丽珍
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 掩模缺陷,神光,检查技术,频谱分布,频谱面,掩模图,频谱函数,向性,光掩模,MDI技术,空间滤波,滤波器,图形,缺陷检查,空间频谱,象面,点显示,模缺陷,输出函数,矩形单元,
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】
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[1]傅丽珍,王家楫.一神光掩模缺陷检查技术[J]半导体学报.1983,(01)
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