陈振昌
【姓名】 陈振昌
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 相淀积,化学汽,真空泵,电磁阀门,工艺实验,设备的使用,真空泵油,抽除,残气,真空计,浮子流量计,过滤装置,真空系统,玻璃管,硅工艺,感器,残余气体,成物,安装图,真空状态,
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】
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[1]王焕杰,张克云,陈振昌.化学汽相淀积(CVD)设备的使用与维修[J]电子与自动化.1994,(05)
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