陈圣
【姓名】 陈圣
【职称】
【研究领域】 材料科学;物理学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 分子束外延,Er2O3,介质膜,单晶薄膜,衬底温度,氧气分压,多晶化,结晶度,表面形貌,硅衬底,国家重点实验室,表面物理,退火处理,绝缘薄膜,非晶,氧化物薄膜,电子束,表面粗糙度,外延生长,沉积温度,
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]朱燕艳;方泽波;廖灿;陈圣;徐闰;.Investigation on Initial Growth of Er_2O_3 Films on Si(001)[J]Journal of Rare Earths.2007,(S1)
[2]朱燕艳;方泽波;刘永生;廖灿;陈圣;.In situ photoemission study of interface and film formation during epitaxial growth of Er_2O_3 film on Si(001) substrate[J]Journal of Rare Earths.2008,(06)
[3]方泽波;谭永胜;朱燕艳;陈圣;蒋最敏;.非晶Er_2O_3高k栅介质薄膜的制备及结构特性研究[J]无机材料学报.2008,(02)
[4]朱燕艳,徐润,陈圣,方泽波,薛菲,樊永良,蒋最敏.电子束外延生长Er_2O_3单晶薄膜[J]江西科学.2005,(04)
[5]陈圣,徐润,朱燕艳,方泽波,薛菲,樊永良,蒋最敏.Er_2O_3薄膜的电学性质研究[J]江西科学.2005,(05)
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