蔡劲
【姓名】 蔡劲
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 脉冲激光,快速热退火,n型,激光掺杂,激光辐照,物理过程,特性研究,液态硅,深能级缺陷,杂质,表面浓度,少子寿命,能量密度,位错,pn结,平台区,突变结,二次离子,激光能量,硅表面,
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]刘开锋,蔡劲,孙恒慧,任云珠,曹永明.n型硅脉冲激光掺铟的物理过程与缺陷特性研究[J]物理学报.1990,(07)
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