鲍敏杭
【姓名】 鲍敏杭
【职称】 教授;
【研究领域】 自动化技术;无线电电子学;仪器仪表工业;
【研究方向】 MEMS技术、理论和器件的研究
【发表文献关键词】 微压传感器,静电驱动,梁膜结构,微机械,膜区,双岛,应力匀散,传感器特性,平膜结构,无掩模腐蚀,硅膜,驱动信号,凸形梁,传感器,电容式,高灵敏度,压阻式,影响分析,横向效应,非线,静电封接,敏度,玻璃...
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[10]杨恒,鲍敏杭,沈绍群,李昕欣,张大成,武国英.测定硅各向异性腐蚀速率分布的新方法[J]半导体学报.2000,(05)
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[5]黄宜平;周嘉;鲍敏杭;.应用于疾病诊断的两种新型MEMS传感器[A].第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集.2004-11-01
[6]吕尊实;周嘉;陈华;黄宜平;鲍敏杭;.片上集成三电极体系微电极阵列的表征[A].第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集.2007-08-01
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