张贵钦
【姓名】 张贵钦
【职称】 助教;
【研究领域】 仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 封装,微机械学,微机电系统,微细加工,MEMS,微机械,研究现状,微细加工技术,传统机械,封装技术,微驱动器,尺寸效应,微型机械,微机械系统,微电,微机器人,感器,微型传感器,设计加工,微结构,
【工作单位】 福州大学
【曾工作单位】 福州大学;
【所在地域】 福建福州
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[1]张贵钦.微机电系统(MEMS)研究现状及展望[J]组合机床与自动化加工技术.2002,(07)
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