陈光红
【姓名】 陈光红
【职称】 副教授;
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光刻胶,剥离工艺,PECVD法,氮化硅薄膜,聚酰亚胺,残余应力,MEMS开关,金薄膜,工艺参数,热应力,本征应力,侧壁,射频功率,沉积温度,性能研究,气体流量比,射频,牺牲层,出胶,工艺研究,微旋转结...
【工作单位】 福州大学
【曾工作单位】 福州大学;
【所在地域】 福建福州
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[1]陈光红,于映,罗仲梓,吴清鑫.AZ5214E反转光刻胶的性能研究及其在剥离工艺中的应用[J]功能材料.2005,(03)
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