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张佐兰
【姓名】
张佐兰
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;自动化技术;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】
自停止,光电元件,电化学腐蚀,硅膜,腐蚀自停止,NMOS器件,溶液电化学,载流子效应,直接键合,SOI材料,报警,抛光工艺,薄膜制备,大面积均匀,低温热,SDB技术,载流,超大规模集成电路,双向超温,...
【工作单位】
东南大学
【曾工作单位】
东南大学;
【所在地域】
南京市
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中国期刊全文数据库
共找到24篇
[1]张佐兰.
几种新型的光电器件
[J]半导体光电.1994,(01)
[2]张佐兰.
新型的SOI技术
[J]半导体技术.1994,(03)
[3]田耘,张佐兰,童勤义,简耀光.
SOI/SDB中一种减薄技术——电化学腐蚀自停止机理的研究与应用
[J]固体电子学研究与进展.1988,(04)
[4]张佐兰.
半导体光电元件的应用
[J]传感器技术.1989,(06)
[5]张佐兰;田耘;简耀光;.
传感器硅膜制备技术的研究
[J]传感器技术.1989,(01)
[6]张佐兰;冯耀兰;刘荣章;陈剑云;.
薄氧化膜特性研究
[J]电子工艺技术.1989,(03)
[7]张佐兰.
薄膜制备新技术
[J]固体电子学研究与进展.1990,(03)
[8]张佐兰.
电化学腐蚀自停止制备Si膜的新技术
[J]材料科学进展.1990,(06)
[9]孟江生,魏同立,张佐兰,郑茳,周东海.
NMOS器件低温热载流子效应的研究
[J]低温与超导.1990,(03)
[10]张佐兰.
采用电化学腐蚀pn结自停止法制备SiO_2上硅膜
[J]微电子学与计算机.1990,(05)
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田耘
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