张佩君
【姓名】 张佩君
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;计算机软件及计算机应用;自动化技术;
【研究方向】 MEMS模型与模拟研究
【发表文献关键词】 硅,腐蚀速率,MATLAB,硅片直接键合,各向异性腐蚀,模拟,扩散,本征氧化层,硅各向异性腐蚀,微机电系统,功率器件,晶向,杂质分布,硅的各向异性腐蚀,腐蚀剂,凸角,MEMS,极性图,插值法,掩膜,插...
【工作单位】 东南大学
【曾工作单位】 东南大学;
【所在地域】 南京
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中国期刊全文数据库    共找到3篇
[1]张佩君,黄庆安.硅片直接键合杂质分布的模型与模拟[J]半导体学报.2003,(08)
[2]张佩君,黄庆安.基于MATLAB的硅各向异性腐蚀过程模拟[J]半导体学报.2002,(04)
[3]张佩君,黄庆安.硅各向异性腐蚀速率图的模拟[J]固体电子学研究与进展.2002,(01)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]张佩君;黄庆安;.基于MATLAB的硅各向异性腐蚀过程模拟[A].第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集.2000-11-01
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