张会珍
【姓名】 张会珍
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 键合,触觉传感,Pn结,硅直接键合,硅材料,阵列,硅膜,键合工艺,读出电路,异性腐蚀,Si结构,C－V,硅电容,微传感器,掺杂原子,双晶衍射,自停止,杂质,壁表面,重金属杂质,腐蚀方法,Spindt阴...
【工作单位】 东南大学
【曾工作单位】 东南大学;
【所在地域】 南京市
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[1]祁雪;黄庆安;秦明;张会珍;樊路加;.单片集成MEMS中的阳极键合工艺[J]电子器件.2005,(04)
[2]陈德英,张旭,姜岩峰,樊路嘉,张会珍,余艳玲.PMOS辐照检测传感器[J]仪表技术与传感器.2002,(01)
[3]黄庆安，陈军宁，张会珍，童勤义.键合Si／SiO_2／Si结构的C－V特征[J]半导体学报.1994,(05)
[4]黄庆安,秦明,张会珍,童勤义.用<111>硅的自停止腐蚀方法制作硅膜[J]传感器技术.1994,(02)
[5]黄庆安,张会珍,陈军宁,童勤义.硅直接键合局部应变的X—射线双晶衍射研究[J]仪器仪表学报.1994,(02)
[6]黄庆安，向涛，秦明，张会珍.硅场致发射理论模型[J]电子器件.1994,(03)
[7]向涛，黄庆安，奏明，张会珍.反向刻蚀法制备场发射阴极阵列[J]电子器件.1994,(03)
[8]黄庆安，翟宏洲，向涛，秦明，张会珍.Spindt阴极电容模型[J]电子器件.1994,(03)
[9]黄庆安，张会珍，陈军宁，童勤义.硅／硅直接键合应力的Raman谱研究[J]应用科学学报.1994,(03)
[10]童勤义,孙国梁,徐晓莉,詹娟,谢世健,张会珍.硅片直接键合中表面活化的研究[J]电子学报.1990,(03)
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