王涓
【姓名】 王涓
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;公路与水路运输;化学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 各向异性,硅,湿法腐蚀,硅原子,腐蚀,吸附反应,势能曲线,Hartree-Fock,吸附位,向异性,反应活化能,空间位阻,脱附,进攻,作用机理,硅表面,顶位,体系总能量,穴位,单晶硅,硅各向异性腐蚀,...
【工作单位】 东南大学
【曾工作单位】 东南大学;
【所在地域】 江苏南京
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[1]周再发;黄庆安;李伟华;王涓;孙岳明;.元胞自动机方法模拟硅的各向异性腐蚀研究[J]固体电子学研究与进展.2006,(01)
[2]周再发;黄庆安;李伟华;王涓;孙岳明;.硅各向异性腐蚀模拟的3-D连续CA模型研究[J]仪器仪表学报.2006,(06)
[3]齐齐;王育乔;宋坤忠;王涓;孙岳明;.OH~-在Si(100)面上的吸附与脱附作用机理[J]东南大学学报(自然科学版).2007,(01)
[4]王涓,孙岳明,黄庆安,周再发.单晶硅各向异性湿法腐蚀机理的研究进展[J]化工时刊.2004,(06)
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[1]周再发;黄庆安;李伟华;王涓;孙岳明;.用3D动态元胞自动机模型模拟硅的各向异性腐蚀过程[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
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