祁建平
【姓名】 祁建平
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 中性粒子,溅射产额,辉光放电,离子流,半导体,电离过程,绝缘体,工作气体,亚稳态,离子引出,实验装置,等离子体离子源,离子源室,本底压强,真空科学,谱仪,离子产额,单晶,质谱研究,氢原子,
【工作单位】 东南大学
【曾工作单位】 东南大学;
【所在地域】
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[1]唐政清,祁建平.溅射中性粒子的质谱研究[J]真空科学与技术.1990,(02)
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