姜理利
【姓名】 姜理利
【职称】
【研究领域】 机械工业;仪器仪表工业;无线电电子学;
【研究方向】 MEMS可靠性
【发表文献关键词】 硅微悬臂梁,可靠性预测模型,微悬臂梁,可靠性预测,威布尔分布,多晶,MEMS,断裂失效机理,预测曲线,威布尔,受力方式,电子技术,分布理论,残余应力,预测模型,加工工艺,实验数据,多晶硅,氧化硅,ME...
【工作单位】 东南大学
【曾工作单位】 东南大学;
【所在地域】 江苏南京
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[1]姜理利,唐洁影.多晶硅微悬臂梁断裂的可靠性预测模型[J]电子元件与材料.2005,(06)
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[1]姜理利;唐洁影;.表面微加工悬臂梁断裂失效可靠度预测[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
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