严先蔚
【姓名】 严先蔚
【职称】
【研究领域】 自动化技术;计算机软件及计算机应用;
【研究方向】
【发表文献关键词】 湿度传感器,微电子机械系统,微机械加工技术,CMOS兼容,微执行器,微传感器,MEMS,计算机辅助设计,CMOS,计算机辅助设,宏模型,工艺模拟,掩模版,制造技术,加工技术,多孔硅,微机械,标准化,东...
【工作单位】 东南大学
【曾工作单位】 东南大学;
【所在地域】 南京
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[1]顾磊,黄庆安,秦明,张中平,严先蔚.一种新型CMOS兼容湿度传感器[J]半导体学报.2004,(02)
[2]严先蔚,秦明,黄庆安.CMOS兼容湿度传感器的研究进展[J]电子器件.2001,(01)
[3]黄庆安,秦明,李伟华,匡一宁,朱珂,章彬,孟为民,鞠瑜华,严先蔚,张昭勇.微电子机械系统计算机辅助设计[J]电子科技导报.1999,(10)
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