许高斌
【姓名】 许高斌
【职称】 讲师;
【研究领域】 无线电电子学;物理学;
【研究方向】 MEMS技术
【发表文献关键词】 测试结构,热导率,多晶硅薄膜,表面微机械技术,硅薄膜,加热条,MEMS技术,CMOS工艺,MEMS薄膜,热扩散系数,微加工,瞬态特性,时间常数,多晶,电极板,叉指,表面加工,加热器,测试方法,薄膜材料...
【工作单位】 东南大学
【曾工作单位】 东南大学;
【所在地域】 江苏南京
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[1]戚丽娜;黄庆安;许高斌;李伟华;.表面加工多晶硅薄膜热扩散系数在线测试结构[J]仪器仪表学报.2006,(08)
[2]许高斌,黄庆安.表面加工多晶硅薄膜热导率测试结构[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
[3]许高斌,黄庆安.在线检测多晶硅薄膜热导率测试结构的设计与模拟[J]半导体学报.2004,(04)
[4]许高斌,黄庆安,李伟华.微加工多晶硅薄膜热导率T型测试结构的设计与模拟[J]仪器仪表学报.2005,(09)
[5]许高斌,黄庆安,姜岩峰.MEMS薄膜热导率测试结构[J]测控技术.2002,(06)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]戚丽娜;许高斌;.多晶硅薄膜热扩散率的测试结构[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
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