冯明
【姓名】 冯明
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;自动化技术;
【研究方向】 MEMS研究piaoyeluo
【发表文献关键词】 等离子体分布,粒子模拟,直接模拟蒙特卡罗法,SU-8胶,电感耦合等离子体,光刻胶,菲涅尔衍射,深紫外光强度分布,光刻模拟,显影轮廓,蒙特卡罗方法,粒子浓度,模拟系统,光强分布,掩模版,吸收系数,工艺控...
【工作单位】 东南大学
【曾工作单位】 东南大学;
【所在地域】 南京
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[1]冯明;黄庆安;李伟华;周再发;朱真;.SU-8胶在深紫外光源下的光强分布模拟[J]传感技术学报.2006,(05)
[2]冯明;黄庆安;李伟华;周再发;朱真;.SU-8胶深紫外光刻模拟[J]半导体学报.2007,(09)
[3]朱真;黄庆安;李伟华;周再发;冯明;.SU-8胶曝光衍射效应的模拟及丙三醇补偿方法[J]半导体学报.2007,(12)
[4]冯明,张鉴,黄庆安.ICP刻蚀中等离子体分布的模拟[J]电子器件.2005,(03)
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